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半導体評価技術

河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆. -- 産業図書, 1989. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00892053>
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河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆. -- 産業図書, 1989. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00892053>
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No. 所蔵館 配置場所 文庫名 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 2Fブルー区画 /549/Ka86 104714456 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 2Fブルー区画
文庫名
請求記号 /549/Ka86
巻号
年月次
資料ID 104714456
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
出版 東京 : 産業図書 , 1989.2
形態事項 viii, 330p ; 22cm
巻号情報
ISBN 478285627X
シリーズ 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00386245>//a
NCID BN03233656
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 河東田, 隆(1944-)||カトウダ, タカシ <AU00253863>
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)||スガノ, タクオ <AU00235674>
著者標目リンク 奥村, 次徳||オクムラ, ツグノリ <AU00253876>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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