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ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著. -- ダイヤモンド社, 1988. <BB00385170>
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ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著. -- ダイヤモンド社, 1988. <BB00385170>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 文庫名 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 4F第2開架閲覧室 K/528/A29 105433338 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 4F第2開架閲覧室
文庫名
請求記号 K/528/A29
巻号
年月次
資料ID 105433338
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦 / 赤堀正幸著
ウルトラ クリーンカ ギジュツ : ミツビシ デンキ トウホク ダイガク ノ チョウセン
出版 東京 : ダイヤモンド社 , 1988.4
形態事項 vi, 230p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4478240434
NCID BN02559589
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 赤堀, 正幸(1940-)||アカホリ, マサユキ <AU00153208>
分類標目 建築設備．設備工学 NDC8:528.2
分類標目 科学技術 NDLC:NA266
件名標目等 空気 -- 浄化||クウキ -- ジョウカ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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