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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00888382>
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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00888382>
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No. 所蔵館 配置場所 文庫名 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 4F第2開架閲覧室 K/578/Ko14 104556493 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 4F第2開架閲覧室
文庫名
請求記号 K/578/Ko14
巻号
年月次
資料ID 104556493
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版 東京 : 共立出版 , 1987.11
形態事項 iv, 99p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320042271
シリーズ 高分子新素材one point / 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ one point <BB00359488> 3//b
NCID BN01734322
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ <AU00144100>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
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