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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB00888886>
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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB00888886>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 文庫名 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 2Fブルー区画 /549/N95 104559893 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 2Fブルー区画
文庫名
請求記号 /549/N95
巻号
年月次
資料ID 104559893
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
出版 東京 : 丸善 , 1986.10
形態事項 viii, 116p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4621031155
シリーズ Frontier technology series <BB00338457> [002]//a
注記 参考書: p115-116
NCID BN01140871
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ <AU00144100>
分類標目 印刷 NDC8:749.1
分類標目 NDC7:749.13
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 フォートエッチング||フォートエッチング
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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