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プラズマと成膜の基礎
小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB00885098>
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プラズマと成膜の基礎
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所蔵館
配置場所
文庫名
請求記号
巻号
年月次
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
本館
2Fブルー区画
/427/Ko78
104131230
配架済
0件
No.
0001
所蔵館
本館
配置場所
2Fブルー区画
文庫名
請求記号
/427/Ko78
巻号
年月次
資料ID
104131230
状態
配架済
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書誌詳細
タイトル・著者名
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
出版
東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8
形態事項
iv, 202, iiip ; 22cm
巻号情報
ISBN
4526020656
注記
各章末: 文献
NCID
BN00233219
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
小沼, 光晴(1950-)||コヌマ, ミツハル <AU00138728>
分類標目
電磁気学 NDC8:427.6
分類標目
物理化学.理論化学 NDC8:431.7
分類標目
NDC7:427.5
件名標目等
プラズマ||プラズマ
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