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フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術

田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著. -- 東京電機大学出版局, 2011. <BB00958719>
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フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術

田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著. -- 東京電機大学出版局, 2011. <BB00958719>
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No. 所蔵館 配置場所 文庫名 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 4F第2開架閲覧室 K/549/Ta83 109801647 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 4F第2開架閲覧室
文庫名
請求記号 K/549/Ta83
巻号
年月次
資料ID 109801647
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術 / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著
フォトマスク : デンシ ブヒン セイゾウ ノ キカン ギジュツ
出版 東京 : 東京電機大学出版局 , 2011.4
形態事項 323p, 図版2枚 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784501328207
その他のタイトル 標題紙タイトル:Photomask technology
注記 参考文献: 各章末
NCID BB05599166
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 田辺, 功(1937-)||タナベ, イサオ <AU00028861>
著者標目リンク 竹花, 洋一||タケハナ, ヨウイチ <AU00169972>
著者標目リンク 法元, 盛久||ホウガ, モリヒサ <AU00170042>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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