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薄膜化技術

和佐清孝, 早川茂著. -- 第3版. -- 共立出版, 2002. <BB00079589>
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和佐清孝, 早川茂著. -- 第3版. -- 共立出版, 2002. <BB00079589>
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No. 所蔵館 配置場所 文庫名 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 4F第2開架閲覧室 K/549/W41 107390619 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 本館
配置場所 4F第2開架閲覧室
文庫名
請求記号 K/549/W41
巻号
年月次
資料ID 107390619
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著
ハクマクカ ギジュツ
版事項 第3版
出版 東京 : 共立出版 , 2002.6
形態事項 viii, 316p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4320086139
注記 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
NCID BA57243403
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 和佐, 清孝||ワサ, キヨタカ <AU00103120>
著者標目リンク 早川, 茂||ハヤカワ, シゲル <AU00023888>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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