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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決
小林稔, 中島蕃著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2002. <BB00079189>
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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決
小林稔, 中島蕃著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2002. <BB00079189>
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No.
所蔵館
配置場所
文庫名
請求記号
巻号
年月次
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
本館
4F第2開架閲覧室
K/549/Ko12
107387797
配架済
0件
No.
0001
所蔵館
本館
配置場所
4F第2開架閲覧室
文庫名
請求記号
K/549/Ko12
巻号
年月次
資料ID
107387797
状態
配架済
返却予定日
予約
0件
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レビュー
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書誌詳細
タイトル・著者名
VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
版事項
第2版
出版
東京 : 日刊工業新聞社 , 2002.3
形態事項
xi, 169p ; 22cm
巻号情報
ISBN
4526049050
注記
監修: 垂井康夫
注記
文献: 章末
NCID
BA56507656
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
小林, 稔(1932-)||コバヤシ, ミノル <AU00022961>
著者標目リンク
中島, 蕃||ナカジマ, シゲル <AU00022962>
著者標目リンク
垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU00168669>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
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小林, 稔(1932-)
中島, 蕃
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