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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB01088477>
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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB01088477>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549/Ko12 010065225 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549/Ko12
巻号
年月次
資料ID 010065225
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
出版 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2
形態事項 v, 172, viip ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032735
NCID BN08694157
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 春洋(1925-)
コバヤシ, ハルヒロ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549
件名標目等 薄膜||ハクマク
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