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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 1991. <BB01085740>
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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 1991. <BB01085740>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.8/N71 000374603 配架済 0件
0002 石巻 参考図書 R/549.8/N71 010004265 禁帯出 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.8/N71
巻号
年月次
資料ID 000374603
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
No. 0002
所蔵館 石巻
配置場所 参考図書
請求記号 R/549.8/N71
巻号
年月次
資料ID 010004265
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版事項 第2版
出版 東京 : 日刊工業新聞社 , 1991.9
形態事項 xvi,419p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526029874
NCID BN06743353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 半導体 -- 便覧||ハンドウタイ -- ベンラン
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