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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB01124760>
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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB01124760>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.7/F93 010024255 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.7/F93
巻号
年月次
資料ID 010024255
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
出版 東京 : 丸善 , 1991.3
形態事項 xi, 262p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621035835
シリーズ Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集||Maruzen advanced technology <> . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編||ザイリョウ コウガクヘン ; M08//a
注記 各章末: 文献
NCID BN06180206
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)
フルカワ, セイジロウ <>
著者標目リンク 石原, 健
イシハラ, タケシ <>
著者標目リンク 堂山, 昌男(1927-)
ドウヤマ, マサオ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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