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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB01079328>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.7/N39 000114660 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.7/N39
巻号
年月次
資料ID 000114660
状態 配架済
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル・著者名 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi,240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
XISBN 4501313300
NCID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)
ナカノ, トモヤス <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ