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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB01069320>
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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB01069320>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /431/C53 000079343 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /431/C53
巻号
年月次
資料ID 000079343
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
出版 東京 : 工業調査会 , 1983.9
形態事項 213p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769310315
注記 各章末:参考文献
NCID BN00621353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子材料編集部
デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ <> 編
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 科学技術 NDLC:PA181
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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