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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01068376>
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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01068376>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549/Su25 000212621 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549/Su25
巻号
年月次
資料ID 000212621
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
出版 東京 : 産業図書 , 1980.7
形態事項 6, 373p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856210
シリーズ 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <>//a
注記 各章末:参考文献
NCID BN0059785X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)
スガノ, タクオ <>
分類標目 NDC6:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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