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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB00885098>
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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB00885098>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /431/Ko78 000080655 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /431/Ko78
巻号
年月次
資料ID 000080655
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
出版 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8
形態事項 iv, 202, iiip ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526020656
注記 各章末: 文献
NCID BN00233219
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小沼, 光晴(1950-)||コヌマ, ミツハル <AU00138728>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 NDC7:427.5
件名標目等 プラズマ||プラズマ
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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