石巻専修大学図書館

半導体プロセス

西澤潤一編 ; [その1], その2, その3. -- 工業調査会, 1979. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 16巻 ; 19巻 ; 22巻 . 超LSI技術 ; 3 ; 6 ; 9). <BB01066033>
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所蔵一覧 1件~2件(全2件)

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549/H29 その2 000111542 配架済 0件
0002 石巻 開架図書(2F) /549/H29 その3 000111575 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549/H29
巻号 その2
年月次
資料ID 000111542
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
No. 0002
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549/H29
巻号 その3
年月次
資料ID 000111575
状態 配架済
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル・著者名 半導体プロセス / 西澤潤一編
ハンドウタイ プロセス
出版 東京 : 工業調査会 , 1979.8-1985.8
形態事項 3冊 ; 27cm
巻号情報
巻次等 [その1]
巻号情報
巻次等 その2
ISBN 4769310250
巻号情報
巻次等 その3
ISBN 4769310463
シリーズ 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <> 16巻 ; 19巻 ; 22巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 3 ; 6 ; 9//bb
注記 各章末: 参考文献
NCID BN00178154
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-)
ニシザワ, ジュンイチ <>
分類標目 NDC6:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ