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石巻専修大学図書館
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半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012. <BB01109037>
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半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012. <BB01109037>
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1件~1件(全1件)
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No.
所蔵館
配置場所
請求記号
巻号
年月次
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
石巻
開架図書(2F)
/431.3/Ko73
010991214
配架済
0件
No.
0001
所蔵館
石巻
配置場所
開架図書(2F)
請求記号
/431.3/Ko73
巻号
年月次
資料ID
010991214
状態
配架済
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書誌詳細
タイトル・著者名
半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
出版
東京 : コロナ社 , 2012.9
形態事項
vii, 227p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784339008371
その他のタイトル
奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
その他のタイトル
異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
注記
その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
注記
引用・参考文献: p[212]-222
NCID
BB10243699
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
近藤, 英一||コンドウ, エイイチ <AU00240585>
著者標目リンク
上野, 和良||ウエノ, カズヨシ <AU00240598>
著者標目リンク
内田, 寛
ウチダ, ヒロシ <>
著者標目リンク
曽根, 正人||ソネ, マサト <AU00240599>
著者標目リンク
生津, 英夫
ナマツ, ヒデオ <>
著者標目リンク
服部, 毅
ハットリ, タケシ <>
著者標目リンク
堀, 照夫
ホリ, テルオ <>
著者標目リンク
森口, 誠
モリグチ, マコト <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
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件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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件名標目等
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マイクロエレクトロニクス||マイクロエレクトロニクス
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