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プラズマ/プロセスの原理

Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳. -- 第2版. -- 丸善, 2010. <BB01107594>
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プラズマ/プロセスの原理

Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳. -- 第2版. -- 丸善, 2010. <BB01107594>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /427.6/L62 010946861 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /427.6/L62
巻号
年月次
資料ID 010946861
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
版事項 第2版
出版 東京 : 丸善 , 2010.1
形態事項 xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784621082232
その他のタイトル 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
その他のタイトル 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
注記 監修: 堀勝
注記 参考文献: p[591]-604
NCID BB00985264
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Lieberman, M. A. (Michael A.) <AU00237430>
著者標目リンク Lichtenberg, Allan J <AU00237431>
著者標目リンク 佐藤, 久明
サトウ, ヒサアキ <>
著者標目リンク 堀, 勝(1958-)||ホリ, マサル <AU00237447>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 電磁気学 NDC9:427.6
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
件名標目等 薄膜||ハクマク
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