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Atomic layer deposition applications

editors, A. Londergan ... [et al.] ; sponsoring division, Dielectric Science & Technology ; 2, 3, 4. -- Electrochemical Society, 2007. -- (ECS transactions ; vol. 3, no. 15, vol. 11, no. 7, vol. 16, no. 4). <BB01104982>
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Atomic layer deposition applications

editors, A. Londergan ... [et al.] ; sponsoring division, Dielectric Science & Technology ; 2, 3, 4. -- Electrochemical Society, 2007. -- (ECS transactions ; vol. 3, no. 15, vol. 11, no. 7, vol. 16, no. 4). <BB01104982>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /539/A94 4 010768323 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /539/A94
巻号 4
年月次
資料ID 010768323
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Atomic layer deposition applications / editors, A. Londergan ... [et al.] ; sponsoring division, Dielectric Science & Technology
出版 Pennington, NJ : Electrochemical Society , c2007-
形態事項 v. : ill. ; 23 cm
巻号情報
巻次等 2
ISBN 9781566775427
巻号情報
巻次等 3
ISBN 9781566775731
巻号情報
巻次等 4
ISBN 9781566776509
シリーズ ECS transactions <> vol. 3, no. 15, vol. 11, no. 7, vol. 16, no. 4//a
注記 Includes bibliographical references and author index
注記 "... held on October 29 through November 1, 2006 in the Moon Palace Resort, Cancun, Mexico as part of the 210th Meeting of the Electrochemical Society" -- 2
注記 "... held on October 8 and 9, 2007 in the Hilton Washington, Washington, DC as part of the 212th Meeting of the Electrochemical Society."--3
注記 "... held on October 13 through 15, 2008 in Honolulu, Hawaii, as part of the 214th Meeting of the Electrochemical Society" --4
NCID BA82713101
本文言語コード 英語
著者標目リンク Atomic Layer Deposition Applications <>
著者標目リンク Electrochemical Society. Meeting <AU00233863>
著者標目リンク Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division <AU00233864>
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