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製造プロセス編

角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <BB01102859>
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製造プロセス編

角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <BB01102859>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.7/D59 010858447 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.7/D59
巻号
年月次
資料ID 010858447
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 製造プロセス編 / 角南英夫著
セイゾウ プロセスヘン
出版 東京 : コロナ社 , 2006.8
形態事項 xii, 189p ; 26cm
巻号情報
ISBN 4339018872
シリーズ 電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編||デンシ ジョウホウ ツウシン レクチャー シリーズ <> D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク//a
その他のタイトル 奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
注記 引用・参考文献: p[177]-186
NCID BA81206403
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子情報通信学会||デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ <AU00228978>
著者標目リンク 角南, 英夫||スナミ, ヒデオ <AU00228995>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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