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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著. -- エヌ・ティー・エス, 2003. <BB01100326>
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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著. -- エヌ・ティー・エス, 2003. <BB01100326>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /534.93/Y91 010805786 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /534.93/Y91
巻号
年月次
資料ID 010805786
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
出版 東京 : エヌ・ティー・エス , 2003.12
形態事項 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 4860430395
その他のタイトル 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
マイクロ・ナノ デンシ ビーム ソウチ ニ オケル シンクウ ギジュツ
注記 監修: 岡野達雄
注記 参考・引用文献: 各章末
NCID BA6508397X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉村, 長光
ヨシムラ, ナガミツ <>
分類標目 流体機械．流体工学 NDC9:534.93
分類標目 科学技術 NDLC:NB126
件名標目等 真空技術||シンクウギジュツ
件名標目等 電子線||デンシセン
件名標目等 真空工学||シンクウコウガク
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