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プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門

市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著. -- 内田老鶴圃, 2003. <BB01099773>
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プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門

市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著. -- 内田老鶴圃, 2003. <BB01099773>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.8/I14 010697720 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.8/I14
巻号
年月次
資料ID 010697720
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著
プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク : セイマク ト エッチング ニュウモン
出版 東京 : 内田老鶴圃 , 2003.7
形態事項 viii, 289p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4753650480
NCID BA6324911X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 市川, 幸美
イチカワ, ユキミ <>
著者標目リンク 佐々木, 敏明
ササキ, トシアキ <>
著者標目リンク 堤井, 信力
テイイ, シンリキ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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