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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB01120710>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB01120710>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.7/O48 010695542 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.7/O48
巻号
年月次
資料ID 010695542
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
シリーズ ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <> 29//a
NCID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次
オカザキ, シンジ <>
著者標目リンク 鈴木, 章義
スズキ, アキヨシ <>
著者標目リンク 上野, 巧
ウエノ, タクミ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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