石巻専修大学図書館

はじめての半導体洗浄技術

小川洋輝, 堀池靖浩著. -- 工業調査会, 2002. -- (ビギナーズブックス ; 23). <BB01096759>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(2F) /549.8/O24 010629814 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(2F)
請求記号 /549.8/O24
巻号
年月次
資料ID 010629814
状態 配架済
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル・著者名 はじめての半導体洗浄技術 / 小川洋輝, 堀池靖浩著
ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
出版 東京 : 工業調査会 , 2002.3
形態事項 276p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312121
シリーズ ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <> 23//a
注記 参考文献: 各章末
NCID BA56225847
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小川, 洋輝
オガワ, ヒロキ <>
著者標目リンク 堀池, 靖浩
ホリイケ, ヤスヒロ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 洗浄法||センジョウホウ