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Silicon micromachining

M. Elwenspoek and H.V. Jansen. -- Cambridge University Press, 1998. -- (Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 7). <BB01097443>
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Silicon micromachining

M. Elwenspoek and H.V. Jansen. -- Cambridge University Press, 1998. -- (Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 7). <BB01097443>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549.8/E49 010580215 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549.8/E49
巻号
年月次
資料ID 010580215
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Silicon micromachining / M. Elwenspoek and H.V. Jansen
出版 Cambridge, [England] ; New York : Cambridge University Press , 1998
形態事項 xiii, 405 p. : ill. ; 27 cm
巻号情報
ISBN 052159054X
シリーズ Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering <> 7//a
注記 Includes bibliographical references
NCID BA4255149X
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Elwenspoek, M. (Miko), 1948- <>
著者標目リンク Jansen, H. V. (Henri V.) <>
分類標目 LCC:TK7871.15.S55
分類標目 DC21:621.3815
件名標目等 Silicon
件名標目等 Micromachining
件名標目等 Etching
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