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Proceedings of the third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films

editors, V.J. Kapoor, W.D. Brown ; Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions. -- Electrochemical Society, 1994. -- (Proceedings (Electrochemical Society) ; v. 94-16). <BB01059292>
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Proceedings of the third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films

editors, V.J. Kapoor, W.D. Brown ; Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions. -- Electrochemical Society, 1994. -- (Proceedings (Electrochemical Society) ; v. 94-16). <BB01059292>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549.8/Ka61 010241115 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549.8/Ka61
巻号
年月次
資料ID 010241115
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Proceedings of the third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films / editors, V.J. Kapoor, W.D. Brown ; Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions
出版 Pennington, NJ : Electrochemical Society , c1994
形態事項 xiii, 625 p. : ill. ; 23 cm
巻号情報
ISBN 1566770483
シリーズ Proceedings (Electrochemical Society) <> v. 94-16//a
注記 Includes bibliographical references
NCID BA23818650
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films <> (3rd : 1994 : San Francisco)
著者標目リンク Kapoor, Vikram J. <>
著者標目リンク Brown, William D. <>
著者標目リンク Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division <>
著者標目リンク Electrochemical Society. Electronics Division <>
分類標目 LCC:TK7872.T55
分類標目 DC20:621.381/52
件名標目等 Thin film devices -- Congresses
件名標目等 Electric insulators and insulation -- Thin films -- Congresses
件名標目等 Silicon nitride -- Congresses
件名標目等 Silicon dioxide -- Congresses
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