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Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications

by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa. -- Noyes Publications, 1992. -- (Materials science and process technology series). <BB01057788>
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Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications

by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa. -- Noyes Publications, 1992. -- (Materials science and process technology series). <BB01057788>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549.8/W41 010165322 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549.8/W41
巻号
年月次
資料ID 010165322
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications / by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa
出版 Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications , c1992
形態事項 xii, 304 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0815512805
シリーズ Materials science and process technology series <>//a
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA2181598X
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Wasa, Kiyotaka <>
著者標目リンク Hayakawa, Shigeru, 1925- <>
分類標目 LCC:TS695
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Cathode sputtering (Plating process)
件名標目等 Thin films
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