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Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications

edited by Werner Kern. -- Noyes Publications, 1993. <BB01057706>
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Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications

edited by Werner Kern. -- Noyes Publications, 1993. <BB01057706>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549.7/Ke57 010206167 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549.7/Ke57
巻号
年月次
資料ID 010206167
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications / edited by Werner Kern
出版 Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1993
形態事項 xx, 623 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0815513313
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA21455942
本文言語コード 英語
著者標目リンク Kern, Werner, 1925- <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductor wafers -- Cleaning
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