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Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong. -- Plenum Press, 1993. -- (Microdevices : physics and fabrication technologies). <BB01057279>
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Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong. -- Plenum Press, 1993. -- (Microdevices : physics and fabrication technologies). <BB01057279>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549/Th7 010208783 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549/Th7
巻号
年月次
資料ID 010208783
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Electron beam testing technology / edited by John T.L. Thong
出版 New York : Plenum Press , c1993
形態事項 xvi, 462 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0306443600
シリーズ Microdevices : physics and fabrication technologies <>//a
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA20783334
本文言語コード 英語
著者標目リンク Thong, John T. L. <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/48
件名標目等 Semiconductors -- Testing
件名標目等 Electron beams -- Industrial applications
件名標目等 Scanning electron microscopes
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