タイトル・著者名
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The role of microscopy in semiconductor failure analysis / B.P. Richards and P.K. Footner
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出版
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Oxford : Oxford University Press : Royal Microscopical Society , 1992
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形態事項
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vi, 108 p. : ill. ; 24 cm
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巻号情報
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シリーズ
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Microscopy handbooks <> 25//a
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シリーズ
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Oxford science publications <>//a
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注記
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Includes bibliographical references (p. [98]-101) and index
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NCID
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BA19076522
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本文言語コード
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英語
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著者標目リンク
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*Richards, B. P. <>
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著者標目リンク
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Footner, P. K. <>
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分類標目
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LCC:TK7871.85
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分類標目
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DC20:621.3815/2/0287
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件名標目等
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Semiconductors -- Testing
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件名標目等
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Semiconductors -- Failures
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件名標目等
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Microscopes and microscopy
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