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Characteristics of sputtered particles, technical applications

edited by R. Behrisch and K. Wittmaack ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.] ; : gw, : us. -- Springer-Verlag, 1991. -- (Topics in applied physics ; v. 64 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Bhrisch and K. Wittmaack ; 3). <BB01054210>
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Characteristics of sputtered particles, technical applications

edited by R. Behrisch and K. Wittmaack ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.] ; : gw, : us. -- Springer-Verlag, 1991. -- (Topics in applied physics ; v. 64 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Bhrisch and K. Wittmaack ; 3). <BB01054210>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549.8/B32 : gw 010165587 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549.8/B32
巻号 : gw
年月次
資料ID 010165587
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Characteristics of sputtered particles, technical applications / edited by R. Behrisch and K. Wittmaack ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
出版 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1991
形態事項 xiii, 410 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : gw
ISBN 3540534288
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0387534288
シリーズ Topics in applied physics <> v. 64 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Bhrisch and K. Wittmaack ; 3//ab
注記 Includes bibliographical references and indexes
NCID BA13027998
本文言語コード 英語
著者標目リンク Behrisch, Rainer <>
著者標目リンク Wittmaack, K. <>
分類標目 LCC:QC176.8.S72
分類標目 DC19:530.4/1
件名標目等 Sputtering (Physics)
件名標目等 Solids -- Effect of radiation on
件名標目等 Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on
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