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Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee. -- Academic Press, 1983. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 6). <BB01047456>
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Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee. -- Academic Press, 1983. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 6). <BB01047456>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549/V84 000501379 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549/V84
巻号
年月次
資料ID 000501379
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Materials and process characterization / edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee
出版 New York ; Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1983
形態事項 xii, 598 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341066
シリーズ VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <> 6//b
注記 Includes bibliographies and index
NCID BA01084713
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <>
著者標目リンク Larrabee, Graydon B., 1932- <>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
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