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Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown ; : alk. paper. -- Academic Press, 1984. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8). <BB01042922>
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Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown ; : alk. paper. -- Academic Press, 1984. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8). <BB01042922>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549/V84 : alk. paper 000501395 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549/V84
巻号 : alk. paper
年月次
資料ID 000501395
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
出版 New York ; Orlando : Academic Press , 1984
形態事項 xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : alk. paper
ISBN 0122341082
シリーズ VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <> 8//b
注記 Includes bibliographies and index
NCID BA00536241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <>
著者標目リンク Brown, Dale M. <>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
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