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タイトル・著者名
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Epitaxial silicon technology / edited by B. Jayant Baliga
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出版
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Orlando : Academic Press , 1986
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形態事項
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viii, 328 p. : ill. ; 24 cm
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巻号情報
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内容著作注記
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Silicon vapor phase epitaxy / H.M. Liaw and J.W. Rose
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内容著作注記
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Silicon molecular beam epitaxy / Subramanian S. Iyer
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内容著作注記
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Silicon liquid phase epitaxy / B. Jayant Baliga
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内容著作注記
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Silicon on sapphire heteroepitaxy / Prahalad K. Vasudev
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内容著作注記
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Silicon-on-insulator epitaxy / Hon Wai Lam
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注記
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Includes bibliographies and index
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NCID
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BA00266340
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本文言語コード
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英語
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著者標目リンク
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Baliga, B. Jayant, 1948- <>
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分類標目
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LCC:TK7871.85
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分類標目
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DC19:621.3815/2
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件名標目等
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Semiconductors -- Design and construction
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件名標目等
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Silicon crystals -- Growth
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件名標目等
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Epitaxy
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