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Dry etching for microelectronics

edited by Ronald A. Powell. -- North-Holland, 1984. -- (Materials processing, theory and practices ; v. 4). <BB01044180>
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Dry etching for microelectronics

edited by Ronald A. Powell. -- North-Holland, 1984. -- (Materials processing, theory and practices ; v. 4). <BB01044180>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 石巻 開架図書(3F) /549/D92 000499137 配架済 0件
No. 0001
所蔵館 石巻
配置場所 開架図書(3F)
請求記号 /549/D92
巻号
年月次
資料ID 000499137
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル・著者名 Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
出版 Amsterdam ; Tokyo : North-Holland
出版 New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co. , 1984
形態事項 xi, 299 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0444869050
シリーズ Materials processing, theory and practices <> v. 4//a
注記 Bibliography: p. 223-294
注記 Includes index
NCID BA00157673
著者標目リンク Powell, Ronald A. <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC:621.381/73
件名標目等 Semiconductors -- Etching
件名標目等 Plasma etching
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